مقاله ترجمه شده نقد و بررسی انتقادی از سنسورهای فشار خازنی MEMS
مقاله ترجمه شده نقد و بررسی انتقادی از سنسورهای فشار خازنی MEMS
توضیحات:
مقاله انگلیسی همراه با ترجمه فارسی در خصوص فشار سنج های ( حسگر های فشار) ، با عنوان نقد و بررسی انتقادی از سنسورهای فشار خازنی MEMS در قالب فایل Word.
عنوان اصلی مقاله:
A Critical Review of MEMS Capacitive Pressure Sensors
سال چاپ: ۲۰۱۵
بخشی از متن ترجمه:
این مقاله یک مرور کلی از جمله پیشرفت‌ها، چالش‌ها در رابطه با طراحی، مدل‌سازی، شبیه سازی و تحلیل حسگرهای فشار MEMS را ارایه می‌دهد. اخیراً مزیت حسگرهای فشار خازنی به علت حساسیت بالا، مصرف توان کم، تغییر ناپذیری اثرات دما در برابر سنسور فشار پیزورسیستیو بهره‌مند شده‌اند. از آنجا که دامنه کاربرد این حسگرها در حال افزایش است، لازم است که پیشرفت‌های فن‌آوری و دامنه آینده حسگر فشارخازنیMEMS را بررسی کنیم. این مقاله به بررسی انواع مختلف اصول سنسور فشارخازنی، طراحی، مدل‌سازی، پارامترها با در نظر گرفتن، موادی که می‌توانند در ساخت مورد استفاده قرار گیرند، تمرکز دارد. مدل‌های کمی از حسگرهای فشار خازنی شبیه سازی شده‌اند و نتایج بدست آمده است. نتایج شبیه سازی نشان می‌دهد که چگونه ظرفیت با افزایش فشار (محیط سخت) تغییر می‌کند. طراحی، مدل سازی و شبیه سازی حسگرهای فشار با استفاده از comsol / Multphysics انجام شده است.
